本发明提出了一种剪切错位绝对测量的相位测量偏折术(PMD)方法。该方法一共需要对待测元件进行四次PMD测量，除了需要对待测元件表面进行一次传统的PMD测量外，其它三次测量是在将待测元件平移和旋转到三个特定状态之后再对其表面进行测量。这样可以获得四次测量数据，从而有三个重叠区域。分别计算每个重叠区域上的面形差，然后使用Zernike多项式差来拟合每个重叠区域上的面形差。最后利用最小二乘算法求出Zernike多项式的系数，并重建出待测元件表面面形。该方法提高了PMD系统的测试精度。