阻断式感容耦合螺旋等离子体天线。本发明公开了一种可在宽气压范围内获得稳定等离子体射流的等离子体天线装置，该天线由绕设在石英管上的两个螺旋电感天线构成，其中螺旋电感天线1与射频电源阳极相接，螺旋电感天线2接地。将两段天线隔开一定距离，天线有空气阻断，以电容的方式形成轴向电压降加速等离子体获得高速射流。该发明结构简单，紧凑，将等离子体的电离和加速结合在一起，电离效率高，并可在150Pa到2500Pa气压范围内实现稳定的电离。为实现不同气压条件下射频等离子体电离提供了技术保证，应用范围广泛。