一种接触式三维跟踪扫描测头，由运动单元、感测单元、限位单元、信号处理单元及安装体系组成。所述运动单元包括探针、下运动板、下回复机构、Z向传动机构、X向传动机构、Y向传动机构、上运动板和上回复机构；所述感测单元由Z向直线位移传感器、X向直线位移传感器和Y向直线位移传感器组成，三个传感器中心线相互平行、横截面中心的连线构成等腰直角三角形，从而将探针末端的球头沿X、Y、Z三个方向的位移分别通过三个传感器获取并转换成电信号输出，实现了简单实用的机械式解耦，使测头具有空间利用率高、体积小巧、结构简单，优良的动态响应性能及测量大型复杂曲面零件廓形尺寸的能力，并可提高测量精度。