本实用新型公开了一种加工硅基材料的大气感应耦合等离子体(ICP)发生器，主要由分体式炬管、炬管安装座、弹簧夹头、单匝线圈、端盖板、喷嘴和底板组成；所述分体式炬管由相互独立的外管、一体式中管、内管以及固定装置组成，所述单匝线圈由环形碟片、电流引入座和电流引出座三部分组成；所述端盖板通过多个紧固螺钉和底板进行连接；所述喷嘴由喷嘴外体和喷嘴内体两部分组成，通过多个紧固螺钉和端盖板连接。所述固定装置包括外管夹套、内管盖板、炬管安装座、弹簧夹头。本实用新型具有以下突出优点：1.采用与炬管同轴布置的单匝线圈可加工表面质量；2.降低炬管的替换和维修成本；3.提升炬管同轴度；4.实现加工分辨率可调。