本发明涉及一种SF6断路器触头烧蚀程度在线监测方法。本发明从一个崭新的角度提出了一种监测SF6断路器触头烧蚀程度的方法，该方法与现有的判断方法不存在同源问题并且该方法是对SF6断路器刚分时刻的直接监测而不是间接的检测方法。该方法从装置设计、安装位置、安全性、抗干扰性等多个方面综合考虑了各种因素，提高了该方法的精确度、准确性以及抗干扰能力；选用高精度CCD测量仪和电磁场传感器作为信号采集装置，实现了SF6断路器刚分时刻和起弧时刻的标定。此外，该方法所需的成本比较低、实用性强，也便于目前在运行SF6断路器上进行安装，适合推广使用。