本发明公开了一种化学物质复介电常数测量装置的尺寸确定方法以及测量装置，所述方法包括：S101、计算腔体本体不同尺寸时腔体内部材料所对应的S参数的单调性，以确定单调性曲线变化最优的尺寸；S102、以单调性最优的尺寸所对应的腔体本体为模型制作腔体本体；S103、使腔体本体与矢网分析仪连接；S104、选取介电常数实部参数集合内的接近最小值的一个介电系数其对应的物质作为第一物质，选取靠近******值的一个介电系数其对应的物质称之为第二物质，将该第一物质及第二物质独立的放入所述制作成型的腔体本体中，以分别测量所述第一物质及第二物质的S参数并对比；S105、若对比后的误差小于一预定值时，则将该腔体本体视为最佳尺寸的腔体本体。