本实用新型提供一种等离子体系统装置，包括：真空室，真空室的左端设置有能够向真空室内喷出电子束的等离子体炬，在真空室内部的左右两端分别设置左电极板和右电极板；所述右电极板连接有能够驱动其在真空室内左右移动的电极板位移调节装置；所述真空室的顶部和两侧分别设置有3个并排设置的观察窗用于电磁辐射的耦合输出；所述真空室的外壁设置有一层夹层，该夹层通过冷凝器为其进行降温操作；所述真空室连接有罗茨泵和机械泵；所述等离子体炬、罗茨泵、机械泵、冷凝器通过控制柜控制其启动与否；所述真空室上设置有用于观察其真空度的真空规。本实用新型不会受到结构尺寸的限制，并且上只需要提高等离子体的密度即可实现高频高功率的电磁辐射。