本发明公布的抗高温氧化的铝铬硅氮与氧化铝多层复合涂层是由CrAlTiZrY高熵合金粘结层、α?Cr2O3氧化物模板层、α?Al2O3氧化物核心层、AlCrSiN氮化物表层四个子层构成的整体，这四个子层的顺序是由内至外，涂层总厚度为1～3μm。其制备方法为：对基底进行加热和离子刻蚀后，先利用电弧蒸发镀工艺在基底上沉积CrAlTiZrY层；然后，使用阴极电弧离子镀工艺，再继续依次沉积α?Cr2O3层、α?Al2O3层和AlCrSiN层。由于各子涂层的抗氧化协同作用，铝铬硅氮与氧化铝多层复合涂层的抗高温氧化性能被进一步提高，并且涂层的耐磨性能好，制备工艺简单，易于实施，适合工业化生产与应用。