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本发明公布的与金属陶瓷结合牢固的锆铝氮与氧化铝多层复合涂层复合涂层是由CoNiCrAlY高熵合金粘结层、α‑Cr2O3氧化物模板层、α‑Al2O3氧化物支撑层、ZrAlN氮化物耐磨层四个子层构成的整体,这四个子层的顺序是由内至外,涂层总厚度为1~2.5μm。其制备方法为:对金属陶瓷基底进行加热和离子刻蚀后,先利用电弧蒸发镀工艺在基底上沉积CoNiCrAlY层;然后使用磁控溅射工艺,再继续依次沉积α‑Cr2O3层、α‑Al2O3层和ZrAlN层。高熵合金层的使用和不同功能子层的结合使涂层各子层之间以及涂层与金属陶瓷基底之间结合牢固,同时涂层具有良好的综合性能,且工艺简单,易于掌握控制。
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