本发明涉及一种大功率微波双谱紫外灯装置，包括第一腔体、第二腔体、波导缝隙、波导一、波导二、无极紫外灯、激励腔一、磁控管一、激励腔二和磁控管二，所述第一腔体连接有第二腔体，所述第一腔体上连接有波导一和波导二，所述波导一和波导二上连接有外置实验连接装置激励腔一、磁控管一、激励腔二和磁控管二。该大功率微波双谱紫外灯装置由两个波导与半椭圆形腔体相连接，通过中间的开缝向腔体内馈如微波，微波从两个波导同时馈如，在半椭圆形腔体上开设的波导缝隙的方向不同，导致微波的极化方向不同，可以达到降低互耦的效果，提高了能量的利用率，场分布也能达到较好的均匀性。