本发明公开了一种介质阻挡放电串联微波放电的等离子体发生装置，包括放电管、高压电源、两个介质阻挡电极、微波源、微波腔体组成，所述电管由两个不同外径的放电管组成，用于将介质阻挡放电和微波放电串联在一起。气体通入介质阻挡放电管，在与高压电源相连接的两个相邻电极间形成长度足够到达微波腔体的介质阻挡等离子体射流，其产生的低电离能的激发态粒子到达微波腔体后可以促进微波放电产生微波等离子体，进而形成串联放电。本发明充分利用介质阻挡放电中发生的潘宁和光激发过程，不仅可以降低微波放电中工作气体的击穿功率和等离子体所需的维持功率，还可改善放电动力学，从而******限度的提高能量利用率。