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本发明提供一种基于双频正交光栅投影检测反射元件面形的方法,使用该方法检测反射光学面形时,其基本器件包括CCD传感器、待测元件、LCD液晶显示器和计算机。LCD显示器依次显示由计算机编码生成的相移条纹图,CCD接收得到经过待测元件表面反射后的变形条纹图。若测量系统中采用物理光栅和机械装置进行相移时,则需在竖直和水平两种光栅中进行切换,并进而完成相应的相移量。为了避免这两个方向上的光栅的切换和实现精确的相移量,提出一种基于最小二乘迭代的双频正交光栅相移方法,将双频正交光栅用于相位偏折术中,测量过程中无需更换光栅,并且也无需精确的相移量,即可同时获取两个方向的相位分布。本发明的有益效果:测量结果精度高,适用于高精度的三维面形测量。
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