本发明公开了一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，包括气源，以及供气管路，其数量有两路，两路供气管路均连接气源，两路供气管路后端汇集成一路作为供气端，第一供气管路包括有依次连接的第一截止阀和第一调压阀，第二供气管路包括有依次连接的第二截止阀和第二调压阀；供气管路后端连接有出口阀。本发明的有益效果是，原本单路供应的系统可以在机台用量大的时候改为双路供应，减小单侧供应管路的流量，防止节流效应引起调压阀的结露或者结霜。