本发明公开了一种样品中氚的BIXS方法分析装置，其包括操作台、真空筒、导轨、探测器安装座、X射线探测器、样品台、电阻真空计、薄膜气压计；所述真空筒位于操作台上方，所述导轨设置在操作台上方并且位于真空筒内，所述探测器安装座滑动设置在导轨上，所述X射线探测器设置在探测器安装座上，所述样品台设置在操作台上方并且位于真空筒内以及X射线探测器下侧，所述电阻真空计、薄膜气压计分别设置在真空筒的两侧并且延伸至真空筒内。本发明充分利用了β射线与物质相互作用的特点，结构简单、体积小、价格便宜、检测速度快、灵敏度高、且支持在真空及充氩气两种不同情况下进行实验；具有对样品分析无损的特点，且操作简单，对实验人员无伤害的优势；分别选用真空及充氩气两种方法实现对样品的分析；所占空间小，易于移动，对于有氚分析需求的各高校及相关科研单位是一个很理想的选择。