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本发明公开了一种宽谱减反薄膜。它包括玻璃衬底、TiO2(H+)和两种折射率不同的TiO2(OH‑)溶胶凝胶层。其中通过提拉法在衬底上依次制备不同折射率的TiO2(H+)、TiO2(OH‑)和TiO2(OH‑)溶胶凝胶层,其中每层薄膜均经过热处理,并对薄膜表面进行优化处理提高薄膜的稳定性。本发明制备过程为溶胶凝胶和浸渍提拉技术,通过膜系软件的设计可制备出沿衬底到空气方向上的折射率递减,厚度匹配的宽谱减反射薄膜,并且对薄膜表面进行优化将亲水基团嫁接成疏水基团,以此来提高稳定性。
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