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本发明涉及等离子体发生器技术领域。本发明公开了一种基于N型接头的等离子体发生器,包括内导体和外导体,所述内导体和外导体同轴;所述外导体上设置有导气孔;所述内导体和外导体一端为N型接口形状,用于通过同轴传输线连接激励源,所述内导体和外导体另一端为放电端;所述内导体和外导体构成同轴传输线结构,具有与连接的同轴传输线相同的特征阻抗。本发明的等离子体发生器结构简单,与微波源的连接非常方便。微波在传输过程中泄漏和反射大大降低,能够产生连续的冷等离子体,可以采用单一气体介质或多种气体介质。本发明的等离子体发生器激励源采用电磁波激励源,工作频率连续可调,装置轴向长度不受限制,可以根据需要灵活设置。
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