本发明涉及微波加热领域，是指一种利用单固态源调频实现均匀加热的方法及设备，解决了现有技术中多固态源分区加热，加热成本高、结构复杂的问题。本发明包括单固态源和加热腔，还包括天线辐射装置、功分器、温度反馈装置和微控制器；所述微控制器连接单固态源和温度反馈装置；所述单固态源通过功分器连接天线辐射装置；所述功分器为两组以上微带电路。本发明通过微控制器和功分器连接单固态源，控制单固态源的频率、输出功率及工作时间，实现加热腔内分区加热；通过设置温度反馈装置，实时监控加热腔内的温度分布，可实现均匀加热，同时可实现各分区不同加热曲线的加热；本发明可实现分区加热,且加热均匀性好，结构简单、成本低。