本发明涉及一种等离子体反应雾化制备高纯氮化铝球形粉末的方法。该制备方法包括：产生氮气等离子体：所述氮气等离子体由等离子体炬产生并喷射进入反应雾化装置；反应雾化：熔融铝液在反应雾化装置中被氮气等离子体冲击雾化的同时与氮气发生反应生成氮化铝，所述反应雾化装置包括热源，反应雾化喷嘴和反应雾化室，所述热源用于获取熔融铝液，所述反应雾化喷嘴用于喷射360度环状等离子体束；粉末收集：氮化铝从离开反应雾化室开始逐渐凝固成球形粉末，最后被粉末收集装置收集；本发明创新性在于使用氮气等离子体经反应雾化喷嘴对铝液进行360度环绕均匀冲击，使氮化铝的生成与雾化同步进行，在提高生产效率同时获得高纯度的氮化铝球形粉末。