超净高纯PPT电子级硫酸生产技术项目
一、简介
电子化学品是电子工业重要的支撑材料之一,其质量的好坏,不但直接影响到电子产品的质量,而且对微电子制造技术的产业化有重大影响。IC(半导体元件产品)产业的发展要求电子化学品产业与之同步。因此,电子化学品成为世界各国为发展电子工业而优先开发的关键材料之一。
据美国市场研究公司BCCResearch所对全球电子级试剂的市场需求状况所提供的研究报告:2010~2015年间的年均复合增长率为12.6%。预计到2015年,全球电子化学品市场规模可达5000亿元人民币。加拿大电子产业研究中心的一项研究结果显示,全球电子设备市场需求将呈爆发式增长,未来5年全球电子化学品需求年增长率将达122.6%,其中导电聚合物的需求每年将增长约26%。
随着新能源建设、微电子产业、IC、PCB、TFT-LCD、Touch Panel、LED、Solar的大规模兴起,各种高纯试剂的需求量将达到新的发展阶段。仅在江苏省每年高纯试剂的需求量就将达到数十万吨,为了满足市场的迫切需求,建设一个更高纯度(PPT级)且具有一定规模的高纯试剂生产线也就是超净高纯级试剂生产技术,来满足市场的需求,填补国内技术以及销售市场区域的不足。
本项目生产的产品主要适用于IC、PCB、TFT-LCD、Touch Panel、LED、Solar等领域,专用于芯片的蚀刻、残留物剥离、光刻工艺以及整个生产过程中的清洗工艺等用途。
二、项目工艺技术方案
本项目根据所产产品的特性,分别选择不同的工艺技术方案。其中,PPT级硫酸、PPT级氨水等产品选用引进的独立的吸收—分解—精滤—吸收—精调生产工艺进行;
工艺流程简述
来自硫磺制酸系统Ⅲ换热器出口约300℃的一次转化气进入烟酸蒸发器的壳程,作为蒸发热源。出烟酸蒸发器的温度约160℃的气体进入烟酸吸收塔,生产25%烟酸(以游离SO3质量分数计,下同)。出烟酸吸收塔的气体返回硫磺制酸系统一吸塔进口再进一步吸收。
从25%烟器与从烟酸蒸发器出来的约115℃20% 烟酸进行换热。经过换热后,25%烟酸温度提高到约l05℃,进入烟酸蒸发器;20%烟酸温度降低到约80℃,一部分进入SO3蒸发器作为蒸发热源,另一部分经20%烟酸冷却器进一步降温至约50℃,入25%烟酸循环槽。出SO3蒸发器的烟酸返回到25%烟酸循环槽(由此也产出25%烟酸产品)。
从烟酸蒸发器出来的SO3气体经不锈钢丝网除沫器除沫后进入SO3冷凝器,冷凝下来的液体SO3利用位差流入SO3计量槽,再利用位差流入SO3蒸发器。
由SO3蒸发器蒸发出的SO3气体经除雾器除雾过滤后进入超纯硫酸吸收塔,在吸收过程中用超纯水作为补充水。吸收后的气体送入干燥塔气体进口,产出的超纯硫酸一部分经冷却后循环,另一部分作为产品送入SO2脱吸系统,用超纯空气吹除其中的SO2后得到PPT级硫酸产品。
三 、项目寻求合作建设的初步方案
我们正寻求社会资金与我们项目研发团队共同建设一条年产1000吨左右的超净高纯电子级(PPT级)硫酸产业化示范生产全套生产线。寻求的资金金额大约为800 万元左右(该示范生产线完成后的总销售收入约390万元/年,年收益约200万元/年左右)。待示范生产线建设完成并达到所有技术指标后共同向国际国内转让产业化全套技术及生产线(产业化初步构想按20000T/a设计,总投资约5000万元,年销售收入大约8000万元,年收益大约4000万元左右),所得净利润由双方按合作协议进行分配。