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本发明涉及等离子技术领域,本发明公开了一种平行板DBD等离子体发生器,包括气体输入端口、上极板和下极板,所述气体输入端口用于提供工作介质,其特征在于,所述气体输入端口位于上极板中轴线上,所述上极板和气体输入端口之间安装有集气罩,所述上极板分布有气孔,所述工作介质通过所述气孔填充到上极板和下极板之间。本发明的有益效果是,能够形成稳定均匀的介质分布,解决了平行板DBD等离子体发生器极板之间气体介质分布的均匀性问题,有利于提高等离子体流的连续性和稳定性。特别是通过选择极板气孔的分布形式,可以进一步提高工作介质分布均匀性。本发明的平行板DBD等离子体发生器可以广泛地适用于直流到微波频率的激励源。
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